产品介绍
氙气（Xenon，Xe）是一种无色、无味的稀有气体，具有特定的放电、光谱及物理特性。高纯氙气广泛应用于半导体制造、准分子激光、特种光源、医疗及科研等领域，也是 XeCl 准分子激光工作气体的重要组成之一。
典型应用
半导体制造
可用于部分刻蚀、离子注入及相关半导体制造工艺。
准分子激光
作为XeCl 等准分子激光工作气体的组分，可应用于薄膜制备、材料加工及科研等领域。
特种光源
可用于氙灯及其他气体放电光源。
医疗与科研
符合相应质量及法规要求的产品可应用于特定医疗及科研领域。
产品规格
可根据客户工艺及设备要求提供不同纯度和包装规格。具体技术指标以产品规格书或质量文件为准。
安全说明
氙气不可燃，但高浓度环境可能造成缺氧。高压气体应按照相关安全要求储存和使用，并保持环境通风。