产品介绍
氪气（Krypton，Kr）是一种无色、无味、不可燃的稀有气体，化学性质稳定，具有特定的光谱和放电特性。高纯氪气应用于半导体制造、准分子激光、特种光源及科研等领域，也是 KrF 准分子激光工作气体的重要组成之一。
典型应用
半导体制造
可用于部分半导体制造及相关电子工业工艺。
准分子激光
作为KrF 准分子激光工作气体的重要组分，可应用于半导体光刻、微细加工、薄膜制备及科研等领域。
特种光源
可用于特种灯具及其他气体放电光源。
科研应用
可用于光谱分析、物理研究及相关科研领域。
产品规格
可根据客户工艺及设备要求提供不同纯度和包装规格。具体技术指标以产品规格书或质量文件为准。
安全说明
氪气不可燃，但高浓度环境可能造成缺氧。高压气体应按照相关安全要求储存和使用，并保持环境通风。