产品介绍
氯化氢（Hydrogen Chloride，HCl）是一种无色、具有刺激性气味的腐蚀性气体，易溶于水形成盐酸。高纯氯化氢是半导体及电子材料制造领域使用的电子特种气体之一，同时可作为部分准分子激光混合气的含氯组分。
典型应用
半导体制造
可用于外延设备清洁、刻蚀及相关半导体制造工艺。
准分子激光
可作为XeCl 准分子激光工作气体中的含氯组分。
电子材料
可应用于部分电子材料制备及相关制造工艺。
化工应用
可作为化学合成及相关工业生产过程的原料。
产品规格
具体产品纯度、杂质指标、包装及供应方式以产品规格书或质量文件为准。
安全说明
氯化氢具有毒性和腐蚀性，接触水分可形成盐酸。储存、输送和使用过程中应采用适配的设备和材料，并采取防泄漏、通风及人员防护措施。