产品介绍
准分子激光气是针对准分子激光系统配置的特种混合气，通常由稀有气体、卤素组分及缓冲气体等组成。根据激光设备及应用条件的不同，气体组成和技术指标存在差异。
该类产品对组分配比、原料气纯度、微量杂质以及包装和供气系统洁净度具有较高要求，适用于电子制造、精密加工、先进材料、光电及科研等专业领域。
典型应用
可应用于半导体与电子制造、精密激光加工、显示与光电、先进材料、医疗设备及科研等领域。
产品规格
可根据设备及应用要求确定相应气体体系。具体组成、混合比例、纯度、杂质指标及包装方式以产品规格书为准。
安全说明
不同准分子激光气可能含有具有氧化性、毒性、腐蚀性或其他危险特性的组分，应根据具体产品组成及SDS 确定储存、输送和使用要求。